20世紀40年代，前蘇聯學者肪51采用溶解沉積理論解釋超塑性變形的大延伸變形機理，后又有人用動態再結晶和亞穩態理論來解釋了超塑性變形。20世紀90年代人們才認識到超塑性變形主要是晶界行為，對超塑性機理的認識發生了很大的變化，出現了許多描述晶界運動過程的模型。
按照現代觀點，晶界滑移為晶界位錯滑移和攀移的結果，位錯攀移與擴散密切相關，是速控過程。而晶界位錯運動速度和擴散與晶界結構密切相關。